（1）不穩定的沖突所引起：如指針、擺錘軸承不靈敏，作業活塞和測力活塞有沖突。可仔細檢查，清洗修整，消除沖突掃除毛病。

（2）帶動測力活塞滾動的皮帶掉落。掛上皮帶即可。

（3）三次元丈量儀緩沖閥繃簧失效。掃除辦法配換繃簧。

（4）用油粘度過大。需求替換粘度合適的油掃除毛病。

（5）齒桿曲折。則需求校直或替換齒桿。

（6）三坐標丈量儀齒桿與齒輪嚙合不良或齒桿與上面的繃簧pian碰擦。可通過調整齒桿與齒輪的嚙合及繃簧pian的方位掃除。

（7）三次元丈量機作業臺上的導輪與立柱碰擦。可通過調整導輪與立柱的間隙，保持大約0.5mm間隙掃除毛病。

全自動三坐標丈量機的組成比較復雜，主要有機械部件、電氣控制部件、計算機體系組成。平時我們在運用三坐標丈量機丈量工件的一起，也要留意機器的保養，以延長機器的運用壽命。長時間的保護也有助于削減毛病的發生率。